Etude et développement de procédés de gravure plasma pour l'élaboration de grilles
silicium de dispositifs CMOS sub-20 nm [thèse 2003] / Johann Foucher
Information trouvée : directeur de thèse à l'Université Joseph Fourier de Grenoble
Etude expérimentale de la gravure des polymères dans les plasmas multipolaires micro-onde
à base d'oxygène et de SF6 / Olivier Joubert: ; sous la direction de Jacques Pelletier
/ 1990
Information trouvée : Thèse de doctorat : Physique : Grenoble 1 : 1990 ; 75
Internet, http://www.asti.asso.fr, 2005-04-22
Information trouvée : directeur du LTM (Laboratoire des technologies de la microélectronique). Co-animateur
du réseau thématique CNRS (AH No 69) : Nanominiaturisation.
Les procédés par plasmas impliqués dans l'intégration des matériaux sioch poreux pour
les interconnexions en microélectronique[Thèse 2007] /Maxime Darnon