Identifiant pérenne de la notice : 10851191X
Notice de type
Personne
Vers les matériaux à très faible constante diélectrique : étude des mécanismes réactionnels
des dépôts plasma d'organosiliciés, influence des molécules précurseurs du dépôt et
optimisation du nettoyage du réacteur [Thèse 2005] / Arnaud Castex