Identifiant pérenne de la notice : 205497691
Notice de type
Notice de regroupement
Note publique d'information : Les nanotubes de carbone (NTC) possèdent des propriétés électriques pouvant répondre
aux futures demandes de la microélectronique. Toutefois, des méthodes d'intégration
de ces nano-objets dans des systèmes complexes doivent être développées. Le but de
ces travaux de thèse était le développement d'un procédé permettant de déposer sélectivement
des NTC doubles parois de manière orientée, et ce, à l'échelle d'un wafer de silicium.
Un certain nombre de méthodes ont été développées. L'utilisation d'une pulvérisation
de suspension de NTC couplée à différentes méthodes de microstructuration a permis
de réaliser, à de grandes échelles, des dépôts de tapis de NTC microstructurés à des
résolutions de l'ordre du micron. Bien que ne répondant pas à tous les critères requis
pour la microélectronique ces techniques de dépôt ont pu trouver une application dans
le domaine de l'ingénierie tissulaire. Ces travaux ont donné lieu à un dépôt de brevet.
Afin d'améliorer les méthodes de synthèse de nos échantillons de NTC conducteurs,
une technique de caractérisation grande échelle des caractéristiques électriques de
NTC a été mise en œuvre. En effet, l'impossibilité d'obtenir une information statistique
sur les propriétés des NTC présents dans un échantillon entravait les possibilités
d'optimisation. La technique développée se base sur l'étude de la réponse d'un ensemble
de NTC soumis à une forte rampe de tension. La destruction successive des NTC permet
de mesurer les propriétés de nano-objets individuels et ainsi de rapidement tirer
des données statistiques. Finalement, une technique originale basée sur la manipulation
de NTC par des champs électriques et des forces capillaires a été développée. Le contrôle
des forces capillaires permet de concentrer des NTC dans une cavité où ces derniers
seront piégés et alignés par un champ électrique. Cette technique a permis non seulement
d'obtenir des connexions en NTC denses et très conductrices mais également de réaliser
divers dispositifs fonctionnels tels que des nano-résonateurs ou encore des capteurs.
Note publique d'information : Carbon nanotubes (CNT) are known for their current carrier capability which could
be used for microelectronics applications. However, the challenge is to find integration
ways to use these CNT at the large scale. This PhD work focus on the development of
new ways to manipulate double walled carbon nanotubes at the wafer scale. Several
techniques are developed in this work. The use of spray coating with several patterning
techniques allows the large scale deposition of microstructured CNT carpet. This work
has been patented mainly for cellular engineering purpose. A technique has been developed
to characterize the electrical properties of a large number of CNT. The random integration
of CNT on an array of electrodes is used to test a low number of parallel CNT. The
successive breakdown of these connected CNT is used to study their electrical properties,
such as resistivity and maximum current density. Finally, we have developed a technique
based on buried electrodes dielectrophoresis and capillary assembly to create large
arrays of oriented carbon nanotubes carpet. This technique has been optimized to obtain
high density deposition and thus reduce the resistivity. This very versatile technique
has been used to create arrays of sensors and nano resonators.
paprika.idref.fr
data.idref.fr
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