Identifiant pérenne de la notice : 213311836
Notice de type
Notice de regroupement
Note publique d'information : La procédure de calibrage LAR (Line-Attenuator-Reflect), intégrée dans les analyseurs
de réseau modernes et qui permet une large bande de mesure avec un nombre limité d’étalons
de référence sur wafer, est particulièrement attractive. Par contre, peu d’études
sont réalisées pour évaluer sa traçabilité. C’est pourquoi le LNE (Laboratoire National
de Métrologie et d’Essais) a décidé de mener des études afin d’évaluer la traçabilité
et la précision de mesure quand la méthode de calibrage LAR est utilisée. Dans ce
contexte, nos travaux de thèse se résument comme suit : 1) Réalisation d’un kit de
calibrage sur Wafer pour exécuter à la fois le calibrage LAR et le calibrage Multiline
TRL qui constitue le calibrage de référence pour les mesures sur wafer. 2) Proposition
d’une méthode originale basée sur un calcul d’erreur pour tenir compte du fait que
les impédances d’entrée et de sortie de l’atténuateur étalon sont différentes de 50
Ω. Outre sa précision, l’avantage de cette méthode est qu’elle ne nécessite pas la
détermination précise de l’impédance de référence du calibrage LAR. 3) Proposition
d’une méthode originale analytique pour déterminer l’impédance d’entrée et de sortie
de calibrage et donc l’impédance de référence. 4) Réalisation d’un kit de calibrage
large bande pour les utilisateurs, dont l’impédance de référence du calibrage LAR
est peut être obtenue par trois moyens :. ● Modélisation électrique de l’atténuateur.
● Modélisation de l’impédance de référence par interpolation polynomiale. ● Mise au
point d’une méthode simplifiée : la procédure LAR-L. 5) Analyse des erreurs dans le
cas ou le substrat du kit de calibrage est différent du substrat du DST à mesuré
Note publique d'information : The LAR (Line-Attenuator-Reflect) calibration procedure is particularly attractive
because it is already integrated into modern VNAs and it enables broadband measurements
with a limited number of standards. On the other hand, only a few studies concern
the traceability assessment of this method. That is the reason why the LNE (Laboratoire
National de Métrologie) decided to estimate the traceability and accuracy of S parameters
measurement when the LAR calibration method is used. In this context, the thesis can
be summarized as follows: 1) Realization of a on wafer calibration kit allowing to
execute both the LAR calibration and the Multiline TRL calibration which is considered
as the reference calibration for on wafer measurements. 2) Development of a new method
in order to estimate the errors due to the fact that the input and output impedances
of the standard attenuator is different from 50 Ω. This solution is very efficient
and it does not require an accurate determination of the reference impedance of the
LAR calibration technique. 3) Development of an original method for determining the
input and output impedances of the LAR calibration procedure leading to a precise
measurement of the reference impedance. 4) Realization of a calibration kit for users,
with three different methods to determine the reference impedance. ● Electrical model
of the standard attenuator. ● Polynomial interpolation of the reference impedance
measurement. ● Development of a new simplified and low cost technique named the LAR-L
procedure. 5) Analysis of errors when the substrate of the calibration kit is different
from the substrate of the device under test.
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Documentation
