Etude des procédés de nettoyage des substrats de silicium en microélectronique

Identifiant pérenne de la notice : 247638196

URI de l'entité : http://www.idref.fr/247638196/id

Notice de type Notice de regroupement

Point d'accès autorisé

Etude des procédés de nettoyage des substrats de silicium en microélectronique

Variante de point d'accès

Study of the cleaning processes of silicon substrates in microelectronics

[Notice de regroupement]

Information

Langue d'expression : français

Date de parution : 2002

Notices d'autorité liées

Informations sur la notice

Identifiant de la notice : 247638196

RCR créateur de la notice : 0499

Date de création : 07-07-2020

RCR dernier modificateur de la notice : 0499

Date de dernière modification : 05-05-2022 à 01 h 37

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