Identifiant pérenne de la notice : 033228450
Notice de type
Personne
Contribution à l'étude de la diffusion d'impuretés dans le silicium sous oxydation
: rôle des contraintes / Emmanuel Scheid, 1987 [thèse univ.]
Intégration d'un capteur de gaz à oxyde semi-conducteur sur silicium/Stéphane Astié
sous la direction de Anne-Marie Gué et E. Scheid [thèse 1998]