Micromachining and microfabrication process technology VII, 22-24 October 2001, San
Francisco, USA / Jean Michel Karam, John Yasaitis, chairs/editors ; sponsored and
published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
Méthodes et outils pour la conception et la fabrication des microsystèmes / Jean-Michel
Karam ; sous la direction de [Bernard Courtois], 1996. - Thèse de doctorat : Microélectronique
: Grenoble INPG : 1996