Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base
de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas/ Thomas Begou [thèse] ; sous
la dir. de Antoine Goullet et Bruno Bêche
Élaboration par plasma d'hexaméthyldisiloxane de couches minces à faible constante
diélectrique pour applications aux interconnexions en CMOS / Gae͏̈l Borvon [thèse]
; sous la dir. de Agnès Granier et Antoine Goullet