Dépôt de couches minces par plasma pulsé radiofréquence et basse pression en mélange
hexaméthyldisiloxane / oxygène [thèse]
Les oxynitrures de silicium déposés par pulvérisation en gaz réactif pulsé pour des
dispositifs antireflets à gradient d'indice de réfraction / Amira Farhaoui ; sous
la direction de Angélique Bousquet et Emmanuel Centeno. Thèse de doctorat : Chimie,
Sciences des Matériaux : Clermont-Ferrand 2 : 2016
Pulvérisation co-GLAD de films minces métalliques nano-structurés à base tungstène
/ Houssem Boukhalfa ; sous la direction de Valérie Potin. Thèse de doctorat : Chimie
- Physique : Bourgogne Franche-Comté : 2022
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